| Sprog : |
|
| Encyclopedia samfund |Encyclopedia Svar |Indsend spørgsmål |Ordforråd Viden |Upload viden |
Nitrogen trifluoride |
 |
|
Nitrogentrifluorid ved stuetemperatur er en farveløs, lugtfri, stabil gas, der er en stærk oxidant. Nitrogentrifluorid i mikroelektronikindustrien som en fremragende ætsning gasplasma i reaktiv ion ætsning spaltning af fluor, silicium fluor og wolframforbindelse, høj renhed nitrogentrifluorid har fremragende ætsehastighed og udvælgelse af (silicium oxid og silicium), som ætsning, den ætsede overflade uden at efterlade rester, en meget god rengøringsmiddel, mens chipproduktion har de høje energipriser lasere været en masse brug.Grundlæggende oplysninger Chinese kemisk navn: Nitrogen trifluoride Kemisk navn: nitrogentrifluorid engelske navn: kvælstof fluorid Teknisk manual Code: 67 CAS: 7783-54-2 Formel: NF3 Molekylær Struktur: Triangle Cone Bond vinkel: 102,5 ° Molekylær vægt: 71,0019 Smeltepunkt (101.325kPa): -206,79 ℃ Kogepunkt (101.325kPa): -129,0 ℃ Flydende massefylde (-129 ℃, 101.325kPa): 1540kg/m3 Gas massefylde (20 ℃, 101.325kPa): 2.96kg/m3 relativ massefylde (gas, luft = 1,20 ℃, 101.325kPa): 2,46 Hæmatokrit (21,1 ℃, 101.325kPa): 0.3371m3/kg Flydende volumenforhold (15 ℃, 100kPa): 520L / L Kritisk temperatur: -39,3 ℃ Kritisk tryk: 4530kPa Kritiske tæthed: 522kg/m3 Kritisk kompressibilitetsfaktor: 0.317 Smeltevarme (-206,79 ℃, 101.325kPa): 5.61kJ/kg Fordampningsvarme (-129 ℃, 101.325kPa): 163.29kJ/kg Specifik varmekapacitet (gas, 25 ℃, 101.325kPa): Cp = 751.68J / (kg · K) Damptryk (-171 ℃): 1.333kPa (-100 ℃): 470kPa (-60 ℃): 2200kPa viskositet (gas, 25 ℃, 101.325kPa): 0.0183mPa · S Brydningsindeks (gas, 25 ℃): 1,0004416 Vigtigste ingredienser: rene Udseende: farveløs gas med en muggen. Relativ massefylde (vand = 1): 1,89 (kogende, flydende) |
| Bruger Anmeldelse |
|
Ingen kommentarer endnu |
